CVD专用氢气发生器HG PRO 4000

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产品时间2023-12-20

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产品描述：CVD专用氢气发生器HG PRO 4000是一款大流量氢气发生器。它釆用新型长寿命多层PEM电解单元，不使用酸性或碱性溶液。创新的PSA氢气干燥模块，确保最高等级的氢气纯度，免维护。自动检查内部泄漏并持续控制运行参数，以确保安全。LCD触控屏界面对所有功能单元提供了方便及简单的操作。

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产品概述

CVD专用氢气发生器HG PRO 4000是一款大流量氢气发生器。它釆用新型长寿命多层PEM电解单元, 不使用酸性或碱性溶液。创新的PSA氢气干燥模块，确保最高等级的氢气纯度，免维护。自动检查内部泄漏并持续控制运行参数，以确保安全。CVD专用氢气发生器HG PRO 4000LCD触控屏界面对所有功能单元提供了方便及简单的操作。

技术参数

Model: HG PRO 4000	4000	4000 LN
基本参数
电解单元	PEM技术
干燥系统	PSA （变压吸附）/ TSA （変温吸附）
氢气纯度	>99.99999%	>99.99999%
出口压力	12 bars (174 psi) / 16 bars (232 psi)(可选)
氢气流量（最大）	4000ml/min
尺寸	44.5x66x61.5 cm
净重（无水）	52 kg	53kg
N2含量	3ppm	<1ppm
软件功能
并行模式	准备就绪
自动加水	标配
填充氢化物罐功能	标配
水
水质	去离子,ASTM ll,<0.1uS
供应压力（最小，最大）	0 bars (0 psi), 0.5 bar (7.25 psi)
流速	0.251/h
内部水箱容量	20L
电源
连接类型	圧C320-C14
电源	100-240Vac (±10%) 50/60 Hz
功率（最大）	1600W
电流(5x20mm)	6.3A (250VAC - T)